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申请/专利权人：宁波工程学院
摘要：本实用新型公开一种旋转式湿法刻蚀机，壳体内的中心固定连接有第一隔板，第一隔板将壳体分隔成刻蚀腔和清洗腔，刻蚀腔与清洗腔通过第一隔板上部开设的第二通孔连通，刻蚀腔中部固定连接有第二隔板，第二隔板将刻蚀腔分隔成工作室与储液室，工作室设置在储液室的上方，工作室内设置有传送装置和刻蚀组件，刻蚀组件内设置有旋转装置，传送装置与壳体的顶面固定连接，第二隔板的顶面中心与刻蚀组件固定连接；清洗腔中部设置有清洗装置。本实用新型通过刻蚀组件改变刻蚀方式，减少了需要注满药液的体积，同时也减少了药液的挥发，有效提高了药液的利用率，并提高了刻蚀的质量。
主权项：1.一种旋转式湿法刻蚀机，其特征在于：包括壳体1，所述壳体1内的中心固定连接有第一隔板13，所述第一隔板13将所述壳体1分隔成刻蚀腔和清洗腔，所述刻蚀腔与所述清洗腔通过所述第一隔板13上部开设的第二通孔131连通，所述刻蚀腔中部固定连接有第二隔板14，所述第二隔板14将刻蚀腔分隔成工作室与储液室，所述工作室设置在所述储液室的上方，所述工作室内设置有传送装置和刻蚀组件，所述刻蚀组件内设置有旋转装置2，所述传送装置与所述壳体1的顶面固定连接，所述第二隔板14的顶面中心与所述刻蚀组件固定连接，所述传送装置用于将工件送至旋转装置上，所述旋转装置2用于带动工件旋转；所述清洗腔中部设置有清洗装置，所述清洗装置用于对刻蚀后的工件进行清洗；所述壳体1的两侧壁上均开设有输送口，两个所述输送口分别与所述刻蚀腔、所述清洗腔相连通，所述输送口与所述第二通孔131相适配且处于同一轴线上。
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百度查询： 宁波工程学院 一种旋转式湿法刻蚀机
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