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申请/专利权人：无锡沃尼克半导体科技有限公司
申请日：2023-10-30
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221147482U
主分类号：G01B5/28
分类号：G01B5/28;G01B5/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型公开了一种石英环平面度检测装置，涉及石英环检测技术领域。包括底板，所述底板的顶部固定连接有固定架，所述固定架的内侧安装有夹持机构、测量机构和驱动机构，所述夹持机构包括限位板，所述限位板固定连接在所述固定架内侧底部，所述限位板的顶部两端分别开设有横置的滑动孔。本实用新型通过电机工作带动双向螺纹杆进行转动，通过双向螺纹杆转动带动螺纹块沿着限位柱进行滑动，通过螺纹块移动从而带动滑动柱在滑动孔内部滑动，通过滑动柱移动带动夹持板移动，通过夹持板开合对石英环进行夹持固定，这样在测量时避免石英环发生偏移导致测量数据不准确。
主权项：1.一种石英环平面度检测装置，包括底板1，其特征在于：所述底板1的顶部固定连接有固定架3，所述固定架3的内侧安装有夹持机构6、测量机构5和驱动机构4，所述夹持机构6包括限位板601，所述限位板601固定连接在所述固定架3内侧底部，所述限位板601的顶部两端分别开设有横置的滑动孔602，所述限位板601通过滑动孔602滑动连接有相适配的滑动柱603，所述滑动柱603设置有若干个且分别设置在所述滑动孔602内部两端，纵向相对应的两滑动柱603的顶端分别固定连接夹持板604。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡沃尼克半导体科技有限公司 一种石英环平面度检测装置
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