龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：三星电子株式会社
申请日：2023-12-01
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118213256A
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32;H01L21/67;G01N21/25
优先权：["20221216 KR 10-2022-0176608"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：一种等离子体监测系统包括：具有内部空间的腔室，该腔室被配置为在内部空间中使用等离子体在半导体基板上执行半导体工艺，并且该腔室包括光学窗口；在腔室内支撑半导体基板的基板台；在基板台上的光收集装置，该光收集装置包括主体和光收集器，主体具有穿过其的通孔，并且光收集器被配置为从等离子体收集分别入射到通孔上的光，并且将收集的光传送到光学窗口上；以及光分析装置，包括分光计，分光计被配置为从辐照到光学窗口上的每束光获得光谱，并且从光谱映射与通孔的位置相对应的等离子体的状态。
主权项：1.一种等离子体监测系统，包括：具有内部空间的腔室，所述腔室被配置为在所述内部空间中使用等离子体在半导体基板上执行半导体工艺，并且所述腔室包括具有光学窗口的侧壁；在所述腔室内的基板台，所述基板台被配置为支撑所述半导体基板；在所述基板台上的光收集装置，所述光收集装置包括主体和光收集器，所述主体具有穿过其的通孔，并且所述光收集器被配置为从所述等离子体收集分别入射在所述通孔上的光并将所述光传送到所述光学窗口上；以及包括分光计的光分析装置，所述分光计被配置为从传送到所述光学窗口上的所述光获得光谱，并从所述光谱映射与所述通孔的位置相对应的所述等离子体的状态。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号