龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：日新电机株式会社
申请日：2022-12-09
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235526A
主分类号：H05H1/46
分类号：H05H1/46;C23C16/505;H01L21/3065;H01L21/31
优先权：["20220117 JP 2022-004886"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：一种等离子体处理装置，使高频电流流经设置于真空容器的外部的天线而在所述真空容器内产生等离子体，所述等离子体处理装置包括：狭缝板，堵塞形成于所述真空容器的面向所述天线的位置的开口；介电板，自所述真空容器的外侧堵塞形成于所述狭缝板的狭缝；以及掩模板，自所述真空容器的内侧隔开间隙地覆盖所述狭缝。
主权项：1.一种等离子体处理装置，使高频电流流经设置于真空容器的外部的天线而在所述真空容器内产生等离子体，所述等离子体处理装置包括：狭缝板，堵塞形成于所述真空容器的面向所述天线的位置的开口；介电板，自所述真空容器的外侧堵塞形成于所述狭缝板的狭缝；以及掩模板，自所述真空容器的内侧隔开间隙地覆盖所述狭缝。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号