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申请/专利权人：新格拉斯科技集团
摘要：用于处理复数个太阳能电池基体5的一方法及一湿式工作台1被描述。各个太阳能电池基体5包含一个硅晶圆。该方法包含至少下列处理步骤：i移除该硅晶圆之一近表面层的至少一个部分区域75，其系借助于一种藉由使用一蚀刻液来处理该太阳能电池基体的表面之蚀刻处理；以及ii至少在该太阳能电池基体之一个部分表面上生成一个氧化硅薄膜77，其系藉由使用一种氧化液来处理该部分表面。该等太阳能电池基体在一个单一处理装置3之内一个接着一个循序地经受处理步骤i和ii。可供这个目的之用的该湿式工作台1包含数个蚀刻液浴槽13以及数个氧化液浴槽33，在其内，该等太阳能电池基体可举例来说在一含臭氧溶液中被表面地氧化。
主权项：1.一种处理复数个太阳能电池基体5的方法，各个太阳能电池基体5包含一个硅晶圆，该方法包含至少下列处理步骤：i移除该硅晶圆之一近表面层的至少一个部分区域75，其系借助于一种藉由使用一蚀刻液来处理该太阳能电池基体的表面之蚀刻处理；以及ii至少在该太阳能电池基体之一个部分表面上生成一个氧化硅薄膜77，其系藉由使用一种氧化液来处理该部分表面，该等太阳能电池基体在一个单一处理装置3之内一个接着一个循序地经受处理步骤i和ii。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新格拉斯科技集团 用于太阳能电池基体成列处理的方法及湿式工作台
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