申请/专利权人：南京航空航天大学苏州研究院;南京航空航天大学

申请日：2024-03-29

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN117974910B

主分类号：G06T17/00

分类号：G06T17/00;G06T7/00;G06V10/74

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开

摘要：本发明公开一种图像仿真、伪随机缺陷数据集生成及微纳缺陷检测方法，该图像仿真生成方法包括：基于模型参数构建仿真三维模型；基于光源参数构建仿真科勒照明模型，将孔径光阑采样点递增下合成图像的相似度变化程度作为仿真近似收敛的判据，以确定综合考虑仿真成本和精度的采样数目；基于所述仿真三维模型和仿真科勒照明模型进行光学仿真以得到仿真图像。本发明在获得大量仿真图像的基础上可以进一步实现伪随机缺陷数据集生成，在获取大量的数据集时，可以通过数据集对缺陷检测模型进行训练，以实现对于图案化晶圆缺陷图像的直接检测，解决了图案化晶圆缺陷检测过程中参考图像获取困难的问题。

主权项：1.一种基于计算电磁场近场仿真的图像仿真生成方法，其特征在于，所述方法包括：基于模型参数构建仿真三维模型，所述模型参数包括模型材料参数、模型三维几何结构参数以及模型边界计算域；基于光源参数构建仿真科勒照明模型，所述光源参数包括平面波的初始波长、偏振振幅、入射角和入射平面波方位角；将孔径光阑采样点递增下合成图像的相似度变化程度作为仿真近似收敛的判据，以确定综合考虑仿真成本和精度的采样数目；基于所述仿真三维模型和仿真科勒照明模型进行光学仿真，所述光学仿真包括结合所述仿真三维模型和仿真科勒照明模型构建仿真环境进行仿真，获取远场电磁场分布数据以合成图像得到仿真图像；所述将孔径光阑采样点递增下合成图像的相似度变化程度作为仿真近似收敛的判据，以确定综合考虑仿真成本和精度的采样数目，包括：给出初始采样密度以及图像相似度的判断阈值T1，T2，T*；令并按照的规则依次增加采样密度，获取不同采样密度n对应的仿真成像；将获取的仿真图像与相邻的图像和以图像结构化相似度评价指标SSIM为指标进行相似度的判断；当满足条件、时，则确定此时的n为图像仿真充分收敛时的采样点；令，此时为仿真图像充分收敛时的采样点，对应的仿真图像为；重新令并再次按照的规则依次增加采样密度，获取不同采样密度n对应的仿真成像；并将所获取的仿真图像与收敛采样点对应的仿真图像进行图像相似度比较；当满足、n≦且n为奇数时，此时的n为所求的最佳采样值，令，得到最佳采样密度；通过如下公式计算图像结构化相似度评价指标SSIM： ，式中，，分别代表采样点为x和y时的两张图像，，为两张图像各自的全部像素的平均值，，分别为两张图像各自的灰度标准差，为协方差，C1，C2为经验性常数；所述结合所述仿真三维模型和仿真科勒照明模型构建仿真环境进行仿真，获取远场电磁场分布数据以合成图像得到仿真图像，包括：以所述仿真科勒照明模型生成的光源参数输入至所述仿真三维模型中仿真，获取所述仿真三维模型的计算域内的近场电磁场分布数据；根据所述近场电磁场分布数据，进行傅里叶变换以获取远场电磁场分布数据；将所述近场电磁场分布数据和所述远场电磁场分布数据叠加光强生成仿真图像。

全文数据：

权利要求：

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