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申请/专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司

摘要：本发明公开了四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，涉及晶圆运输技术领域，包括机械底座，机械底座的顶面设有避让臂，避让臂的顶面两端设有两组晶圆机械臂和两组晶圆托盘；所述避让臂旋转带动其中一个晶圆机械臂取放晶圆时，使另一个晶圆机械臂旋转固定角度，避让取放晶圆的路径；同时与上方的晶圆托盘连接的晶圆机械臂也会旋转，而避让臂旋转的同时，会通过另一组晶圆机械臂带动下方的晶圆托盘，使下方的晶圆托盘旋转同样的角度，避开上方的晶圆托盘取放晶圆的路径，这时候晶圆托盘就不需要设计很长的悬臂，刚性能得到很好的保证，提高晶圆传送效率也不会引起结构振动。

主权项：1.四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，包括：机械底座（1），机械底座（1）的顶面设有避让臂（2），避让臂（2）的顶面两端均设有晶圆机械臂（3）和晶圆托盘（4）；所述避让臂（2）旋转带动其中一个晶圆机械臂（3）取放晶圆时，使另一个晶圆机械臂（3）旋转固定角度，避让取放晶圆的路径；所述避让臂（2）包括第一大臂（21）和第二大臂（22），第一大臂（21）和第二大臂（22）之间的夹角为一百五十度至一百八十度，第一大臂（21）和第二大臂（22）的顶端分别与两组晶圆机械臂（3）转动连接；所述两组晶圆机械臂（3）与第一大臂（21）和第二大臂（22）对接处的距离大于晶圆托盘（4）的最大宽度；所述避让臂（2）与两组晶圆机械臂（3）的连接处以及晶圆机械臂（3）和晶圆托盘（4）的连接处均设有校准机构（5）；所述校准机构（5）包括第一转子（51），第一转子（51）的内侧设有第二转子（52），第二转子（52）的侧面固定连接有滑块（521），第一转子（51）的内部开设有与滑块（521）相匹配的滑槽（55），第一转子（51）的一侧固定连接有油缸壳（53），油缸壳（53）远离第一转子（51）的一端安装有液压缸（54）；所述机械底座（1）的内部设有控制模块，避让臂（2）和晶圆机械臂（3）上设有激光感应器；所述控制模块预设晶圆机械臂（3）和晶圆托盘（4）静止状态的初始位置；所述控制模块通过激光感应器采集晶圆机械臂（3）和晶圆托盘（4）工作N次后静止状态的停止位置，N为正整数；基于停止位置与初始位置的偏差，控制模块根据偏差使用校准机构（5）校准晶圆机械臂（3）和晶圆托盘（4）静止状态的停止位置。

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