申请/专利权人:芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请日:2023-09-12
公开(公告)日:2024-06-18
公开(公告)号:CN221176219U
主分类号:H01L23/498
分类号:H01L23/498;H01L23/488
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.18#授权
摘要:本实用新型提供了一种焊盘结构,包括绝缘层、以及在所述绝缘层上依次设置的焊盘和钝化层;其中,所述焊盘的边缘为斜面。本实用新型提供的一种焊盘结构通过将金属重布线的边缘设置为斜面,以使金属重布线与钝化层的接触面积增大,增大金属重布线与钝化层的接触面积后,可减小焊盘结构中的局部应力,提高焊盘结构的可靠性。并且,所述焊盘结构还可通过将金属重布线的连接处或拐角处设置成钝角结构,消除了金属重布线在平面投影方向形成的尖角或直角带来的应力,避免焊盘结构出现裂痕的情况,从而提高焊盘结构的可靠性。
主权项:1.一种焊盘结构,其特征在于,包括绝缘层、以及在所述绝缘层上依次设置的焊盘和钝化层;其中,所述焊盘的边缘为斜面;所述焊盘具有金属连接垫和金属重布线;所述金属连接垫和所述金属重布线连接,且所述金属重布线具有钝角结构。
全文数据:
权利要求:
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