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申请/专利权人：广东科视光学技术股份有限公司
申请日：2024-04-29
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118226715A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本申请涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种双台面曝光机。通过至少两个装载机构分别对待曝光件进行装载，进而使一台曝光机能同时对多个待曝光件进行曝光操作。通过使控制器随曝光机构同步移动，进而避免控制器散发的热量对曝光机的局部加热，从而使曝光机的受热更加均匀，进而降低曝光机产生热形变的风险，进而避免曝光机因产生热形变而降低曝光机的精度。通过使控制器随曝光机构同步移动，从而避免控制器与曝光机构产生相对移动，从而降低光纤与曝光机构及控制器连接处产生松动的风险，进而提高曝光机的可靠性。如此，保证曝光机精度及可靠性。
主权项：1.一种双台面曝光机，其特征在于，包括：至少两个装载机构，所述装载机构用于装载待曝光件，所述装载机构并排布置；曝光机构，所述曝光机构用于对所述待曝光件进行曝光；控制器，所述控制器用于控制所述曝光机构；移动机构，所述移动机构用于带动所述曝光机构移动；其中，所述控制器随所述曝光机构在至少一个移动方向上同步移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东科视光学技术股份有限公司 双台面曝光机
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