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申请/专利权人：清软微视(杭州)科技有限公司
申请日：2024-01-31
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118228746A
主分类号：G06K7/10
分类号：G06K7/10;G06K7/015
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了一种晶圆理片读码装置，晶圆理片读码装置包括壳体、理片机构和读码机构，壳体内形成安装腔，壳体的上侧面形成与安装腔连通的放置口，晶圆盒适于放置于放置口内，理片机构包括安装支架、驱动辊和校准器，驱动辊和校准器位于放置口处，驱动辊沿第一方向延伸且适于与晶圆盒内的晶圆接触，校准器位于驱动辊外周侧且与驱动辊平行间隔设置，驱动辊围绕第一方向可旋转，校准器在上侧边沿高于驱动辊的上侧边沿的第一位置与上侧边沿低于驱动辊的上侧边沿的第二位置之间可移动，读码机构相对于理片机构沿第一方向可移动，读码机构用于读取晶圆的信息标识。根据本发明的晶圆理片读码装置，集成度以及可靠性高。
主权项：1.一种晶圆理片读码装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内形成安装腔，所述壳体的上侧面形成与所述安装腔连通的放置口，晶圆盒适于放置于所述放置口内；理片机构，包括位于所述安装腔内的安装支架以及设于所述安装支架的驱动辊和校准器，所述驱动辊和所述校准器位于所述放置口处，所述驱动辊沿第一方向延伸且适于与所述晶圆盒内的晶圆接触，所述第一方向与上下方向垂直，所述校准器位于所述驱动辊外周侧且与所述驱动辊平行间隔设置，所述驱动辊围绕所述第一方向可旋转，所述校准器在上侧边沿高于所述驱动辊的上侧边沿的第一位置与上侧边沿低于所述驱动辊的上侧边沿的第二位置之间可移动；读码机构，相对于所述理片机构沿所述第一方向可移动，所述读码机构用于读取所述晶圆的信息标识。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清软微视(杭州)科技有限公司 晶圆理片读码装置
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