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申请/专利权人：江苏科技大学
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118224968A
主分类号：G01B9/02015
分类号：G01B9/02015;G01J9/02
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了一种非机械式快速移相干涉测量装置及方法，所述装置包括激光器、非偏振分光棱镜、反射镜等部分，所述激光器发射平行激光束，经扩束镜扩束，通过起偏器将激光束的偏振态调整为水平方向，然后通过第一非偏振分光棱镜，分为两束等光强的水平线偏振光，其中一束经过快速移相器和第二反射镜后，透射通过第二非偏振分光棱镜，然后入射到面阵探测器的传感器表面，另一束经过第一反射镜和被测样片后，通过第二非偏振分光棱镜的反射，入射到面阵探测器的传感器表面，两束光束在面阵探测器的传感器表面发生干涉，被面阵探测器采集后，传输到计算机进行数据处理。本发明在去掉机械惯性的同时，测量带宽可提升至10kHz量级，而且成本明显降低。
主权项：1.一种非机械式快速移相干涉测量装置，其特征在于：包括激光器1、扩束镜2、起偏器3、非偏振分光棱镜4、反射镜5、快速移相器6、被测样片7、面阵探测器8、计算机9和驱动控制电路10，所述非偏振分光棱镜4包括第一非偏振分光棱镜401和第二非偏振分光棱镜402，所述反射镜5包括第一反射镜501和第二反射镜502，所述激光器1发射平行激光束，经扩束镜2扩束，通过起偏器3将激光束的偏振态调整为水平方向，然后通过第一非偏振分光棱镜401，分为两束等光强的水平线偏振光，其中一束经过快速移相器6和第二反射镜502后，透射通过第二非偏振分光棱镜402，然后入射到面阵探测器8的传感器表面，另一束经过第一反射镜501和被测样片7后，通过第二非偏振分光棱镜402的反射，入射到面阵探测器8的传感器表面，两束光束在面阵探测器8的传感器表面发生干涉，形成的干涉条纹图像被面阵探测器8采集后，传输到计算机9进行数据处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏科技大学 一种非机械式快速移相干涉测量装置及方法
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