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申请/专利权人：FEI公司
申请日：2023-12-21
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118231208A
主分类号：H01J37/244
分类号：H01J37/244;H01J37/252;H01J37/256
优先权：["20221221 US 63/476535","20230607 US 18/330743"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了带电粒子显微镜CPM支持系统和装置，以及相关方法、计算设备和计算机可读介质。一种带电粒子显微镜支持装置包括：第一逻辑，该第一逻辑用于在带电粒子相机的第一像素处检测第一带电粒子事件；和第二逻辑，该第二逻辑用于在带电粒子相机的包含第一像素的像素子区域内基于剂量率和该像素子区域内的每个像素的能量值来检测是否存在第二带电粒子事件。当确定存在第二带电粒子事件时，第二逻辑确定第二带电粒子事件在子区域内的位置。该支持装置还包括第三逻辑，该第三逻辑用于输出表示第一带电粒子事件和第二带电粒子事件的带电粒子事件数据。
主权项：1.一种带电粒子显微镜支持装置，包括：第一逻辑，所述第一逻辑用于在带电粒子相机的第一像素处检测第一带电粒子事件；第二逻辑，所述第二逻辑用于在所述带电粒子相机的包含所述第一像素的像素子区域内，基于剂量率和所述像素子区域内的每个像素的能量值来确定是否存在第二带电粒子事件，并且当确定存在所述第二带电粒子事件时，确定所述第二带电粒子事件在所述像素子区域内的位置；和第三逻辑，所述第三逻辑用于输出表示所述第一带电粒子事件和所述第二带电粒子事件的带电粒子事件数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 在高剂量率下检测带电粒子事件
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