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申请/专利权人：MKS仪器有限公司
申请日：2022-12-22
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235229A
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32
优先权：["20220112 US 63/298,825","20221220 US 18/084,696"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：射频RF发生器包括被配置为输出RF电力信号的RF电源以及耦接到RF电源的控制器。控制器被配置为生成脉冲以调制RF电源的RF电力信号。脉冲包括一个或多个状态转变。控制器进一步被配置为接收指示其它RF发生器的一个或多个操作特性或参数的同步信号，并调节脉冲的状态转变中的至少一个，以使该状态转变与接收到的同步信号的限定相位同步。还公开了其它示例RF发生器、包括一个或多个RF发生器的RF电力输送系统以及用于调节脉冲的状态转变以使该状态转变与同步信号的限定相位同步的控制方法。
主权项：1.一种射频RF发生器，包括：RF电源，被配置为输出RF电力信号；以及控制器，耦接到所述RF电源，所述控制器被配置为：生成脉冲以调制所述RF电源的所述RF电力信号，所述脉冲包括一个或多个状态转变；接收指示其它RF发生器的一个或多个操作特性或参数的同步信号；以及调节所述脉冲的所述状态转变中的至少一个，以使所述状态转变与接收到的所述同步信号的限定相位同步。
全文数据：
权利要求：
百度查询： MKS仪器有限公司 脉冲与偏置同步方法以及系统
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