龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：深圳市八零联合装备有限公司
申请日：2021-12-30
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN114345732B
主分类号：B07C5/04
分类号：B07C5/04;B07C5/36;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.05.03#实质审查的生效;2022.04.15#公开
摘要：本发明公开了一种晶粒合档方法、装置、电子设备和存储介质。该方法包括：根据预设分区尺寸将点测晶粒划分到至少两个区域块；在所述至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档。本发明实施例，通过在至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档，实现了晶粒数据的准确合档，降低设备的内存空间占用，提高了晶粒合档效率，从而提高了芯片生产的稳定性。
主权项：1.一种晶粒合档方法，其特征在于，所述方法包括：根据预设分区尺寸将点测晶粒划分到至少两个区域块；在所述至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档；其中，所述在所述至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档，包括：针对各所述区域块，分别获取所述点测数据集的初始行列和所述扫描数据集的初始坐标；将所述初始坐标对应的初始扫描晶粒为起点并按照所述预设晶粒选择顺序在所述扫描数据集中获取目标扫描晶粒以及将所述初始行列对应的初始点测晶粒为起点并按照所述预设晶粒选择顺序在所述点测数据集中获取目标点测晶粒；在同时获取到所述目标扫描晶粒和所述目标点测晶粒的情况下，将所述目标扫描晶粒的扫描数据和点测数据进行合并，标记所述扫描数据和所述点测数据有效，并将所述目标扫描晶粒和所述目标点测晶粒分别作为新的所述初始扫描晶粒和所述初始点测晶粒；在仅获取到所述目标扫描晶粒的情况下，将所述目标扫描晶粒的扫描数据标记失效，按照所述预设晶粒选择顺序重新选择所述目标扫描晶粒和所述目标点测晶粒；在仅获取到所述目标点测晶粒的情况下，将所述目标点测晶粒的点测数据标记失效，按照所述预设晶粒选择顺序重新选择所述目标扫描晶粒和所述目标点测晶粒；各所述区域块对应的所述点测数据集的点测数据和所述扫描数据集的扫描数据均被标记后完成所述合档。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市八零联合装备有限公司 一种晶粒合档方法、装置、电子设备和存储介质
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号