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申请/专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日：2020-12-31
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN112858874B
主分类号：G01R31/28
分类号：G01R31/28;G01R27/08
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2021.06.15#实质审查的生效;2021.05.28#公开
摘要：本发明提供了一种跨导参数的测量电路及方法，涉及半导体测量技术领域，包括：参数处理模块，以及与参数处理模块分别相连的电压测量模块和数模转换模块；其中，电压测量模块与被测器件连接，用于测量被测器件各个指定极的输出电压；数模转换模块用于输出与被测器件对应的输出值，以基于输出值抵消输出电压中的直流偏置；参数处理模块用于基于输出电压和输出值计算被测器件的跨导参数。本发明可以有效提高跨导参数测量的精度和稳定性。
主权项：1.一种跨导参数的测量电路，其特征在于，包括：参数处理模块，以及与所述参数处理模块分别相连的电压测量模块和数模转换模块；其中，所述电压测量模块与被测器件连接，用于测量所述被测器件各个指定极的输出电压，所述指定极包括栅极和源极；所述数模转换模块用于输出与所述被测器件对应的输出值VDAC，以基于所述输出值VDAC抵消所述输出电压中的直流偏置，提高输出电压中的有效小信号所占的比例；根据被测器件的栅极电压Vg和源极电压Vs调节数模转换模块的输出值VDAC，以抵消两次电压测量的直流偏置；所述参数处理模块用于基于所述输出电压和所述输出值VDAC计算所述被测器件的跨导参数；所述参数处理模块包括依次连接的第一参数计算单元、模数转换单元和第二参数计算单元；其中，所述第一参数计算单元包括第一减法电路，用于计算所述栅极电压Vg、所述源极电压Vs和所述输出值VDAC得到初始电压差值Vo，Vo=Vg-Vs-VDAC，并根据指定放大倍数对所述初始电压差值Vo进行放大处理得到目标电压差值；所述模数转换单元用于将所述目标电压差值由模拟信号转换至数字信号；所述第二参数计算单元用于基于转换后的目标电压差值计算所述被测器件的跨导参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州长川科技股份有限公司 跨导参数的测量电路及方法
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