申请/专利权人：东莞市天美新自动化设备有限公司;深圳市天美新科技有限公司;湖北天美新机械设备有限公司

申请日：2019-12-30

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN111043007B

主分类号：F04B37/14

分类号：F04B37/14;F04B41/06;F04B39/12;F04B39/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2020.06.05#实质审查的生效;2020.04.21#公开

摘要：一种跟踪步进式多级抽真空系统，包括主抽真空部分，主抽真空部分包括主抽真空泵和用于连接主抽真空泵与工件的真空管，在真空管的管路中设有控制阀，以及在真空管的自由端设有用于与工件连接的连接头，还包括预抽真空部分，预抽真空部分包括预抽真空泵和预抽真空连接部，预抽真空连接部的一端与预抽真空泵连接，预抽真空连接部的另一端通过预抽真空控制阀与控制阀和连接头之间的管道连接；预抽真空连接部设在跟踪器上，预抽真空泵工作时，预抽真空连接部与工件同步运动；工作结束后，预抽真空连接部随着跟踪器返回起始端。本发明可以将转盘的直径做得更小，也不会产生在每套支管的工件进入抽真空环境时，对其它的支管的真空度破坏严重，整体真空度波动较大的问题。

主权项：1.一种跟踪步进式多级抽真空系统，包括主抽真空部分（1），所述主抽真空部分（1）包括主抽真空泵（11）和用于连接主抽真空泵（11）与工件（12）的真空管（13），在所述真空管（13）的管路中设有控制阀（14），以及在所述真空管（13）的自由端设有用于与工件（12）连接的连接头（15），其特征在于：还包括预抽真空部分（2），所述预抽真空部分（2）包括预抽真空泵（21）和预抽真空连接部（22），所述预抽真空连接部（22）的一端与所述预抽真空泵（21）连接，所述预抽真空连接部（22）的另一端通过预抽真空控制阀（23）与控制阀（14）和连接头（15）之间的管道（141）连接；所述预抽真空连接部（22）设在跟踪器（24）上，预抽真空泵（21）工作时，所述预抽真空连接部（22）与工件（12）同步运动；工作结束后，所述预抽真空连接部（22）随着跟踪器（24）返回起始端；所述预抽真空连接部（22）包括用于与所述预抽真空泵（21）连接的连接头（221）、预抽真空对接管（222）和直线驱动机构（223），在所述预抽真空控制阀（23）的靠近预抽真空对接管（222）设有预抽真空固定接头（231），在所述预抽真空对接管（222）靠近预抽真空固定接头（231）设有柔性对接件（2221），所述直线驱动机构（223）驱动所述预抽真空对接管（222）的柔性对接件（2221）与所述预抽真空固定接头（231）可离合连接；所述跟踪器（24）包括预抽真空对接底座（241），在所述预抽真空对接底座（241）上设有预抽真空对接跟踪滑轨（242），以及用于驱动所述预抽真空连接部（22）在所述预抽真空对接跟踪滑轨（242）上运动的驱动机构（243）；所述预抽真空对接跟踪滑轨（242）是弧线型滑轨或直线型滑轨；所述预抽真空控制阀（23）是单向阀或电磁阀。

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