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申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日：2020-04-29
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN111430215B
主分类号：H01J49/06
分类号：H01J49/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开
摘要：本发明涉及一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器和软聚焦方法，包括电离源、入口电极、多片圆环电极、多片屏蔽网电极、离子出口电极和直流电源；所述的屏蔽网电极中心有开孔，开孔左侧面被导电网封闭，右侧敞开；所述的多片屏蔽网电极右侧敞开口径从大逐渐缩小，形成漏斗状；所述的入口电极、多片圆环电极、多片屏蔽网电极、离子出口电极之间采用绝缘密封垫片隔开，形成中空的离子化器腔；本发明的离子聚焦方法是通过在一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器内形成逐步软聚焦引导电场，产物离子可被高效聚焦引导并保持低电场软电离效果，具有很高的离子透过效率和软电离效果，不需要额外射频电源，在体积、功率、重量、成本等方面更有优势。
主权项：1.一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器，其特征在于：包括电离源1、入口电极2、多片圆环电极3、多片屏蔽网电极4、离子出口电极5和直流电源6；所述的电离源1、入口电极2、多片圆环电极3、多片屏蔽网电极4、离子出口电极5从左向右同轴心装配；所述的直流电源6的两极分别连接到入口电极2和离子出口电极5两端；所述的入口电极2、多片圆环电极3、多片屏蔽网电极4、离子出口电极5之间依次用电阻相连；所述的屏蔽网电极4中心有开孔，开孔左侧面设置有导电网，用来屏蔽隔离导电网前后的电场，右侧敞开；所述的多片屏蔽网电极4的右侧敞口孔径从大逐渐缩小，组合形成漏斗状的开口；所述入口电极2中心设有第一孔，所述离子出口电极5中心设有离子引出的第二孔；所述的入口电极2、多片圆环电极3、多片屏蔽网电极4、离子出口电极5之间采用绝缘密封垫片隔开，形成中空的离子化器腔7，或通过整体放入另一密封腔体内形成离子化器腔7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器和软聚焦方法
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