申请/专利权人:昆山法密尔精密机械有限公司
申请日:2023-10-31
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN221201133U
主分类号:H01L21/683
分类号:H01L21/683;H01L21/677;H01L21/687
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权
摘要:本实用新型公开了一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪,包括载板、若干个吸附组件、连接相邻吸附组件的推拉杆,以及带动至少一个吸附组件实施滑动的自动变换组件,载板上开设有便于吸附组件滑动的滑槽,吸附组件包括吸嘴、滑杆、滑盘和与吸气管连通的抽气接头,自动变换组件包括旋转电机和旋转臂,通过几个可自由变换调整位置的吸附组件,以直线形或方阵形排布的方式,可以针对长条形或圆形、或方形基板物料的吸附抓取,省去一只机械臂夹持组件,减少自动化占用空间,节省设备成本,降低编程难度,降低设备故障率,充分适用于多种平面形状自适应吸附需求。
主权项:1.一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪,其特征在于:包括载板、若干个吸附组件、连接相邻吸附组件的推拉杆,以及带动至少一个吸附组件实施滑动的自动变换组件,所述自动变换组件包括旋转电机和旋转臂。
全文数据:
权利要求:
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