申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司
申请日:2023-10-11
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN221201182U
主分类号:H01L29/861
分类号:H01L29/861;H01L21/329;H01L23/48
优先权:["20221026 US 63/381,044","20230217 US 18/170,785"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权
摘要:本实用新型提供了具有无掺杂连接的结构及制造方法。示例性的结构包括:基底;形成在基底中且具有第一导电类型的第一区;位于基底之上的上覆层;形成在上覆层中且具有第二导电类型的井区;横向相邻于井区且延伸穿过上覆层而与第一区电接触的导电插塞;以及位于导电插塞与井区之间的钝化层。
主权项:1.一种无掺杂连接结构,其特征在于,包括:基底;第一区,具有第一导电类型,且形成在所述基底中;上覆层,位于所述基底之上;井区,具有第二导电类型,且形成在所述上覆层中;导电插塞,横向相邻于所述井区且延伸穿过所述上覆层而与所述第一区电接触;以及钝化层,位于所述导电插塞与所述井区之间。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 无掺杂连接结构及单元
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