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【实用新型】无掺杂连接结构及单元_台湾积体电路制造股份有限公司_202322728418.1 

申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

申请日:2023-10-11

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN221201182U

主分类号:H01L29/861

分类号:H01L29/861;H01L21/329;H01L23/48

优先权:["20221026 US 63/381,044","20230217 US 18/170,785"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权

摘要:本实用新型提供了具有无掺杂连接的结构及制造方法。示例性的结构包括:基底;形成在基底中且具有第一导电类型的第一区;位于基底之上的上覆层;形成在上覆层中且具有第二导电类型的井区;横向相邻于井区且延伸穿过上覆层而与第一区电接触的导电插塞;以及位于导电插塞与井区之间的钝化层。

主权项:1.一种无掺杂连接结构,其特征在于,包括:基底;第一区,具有第一导电类型,且形成在所述基底中;上覆层,位于所述基底之上;井区,具有第二导电类型,且形成在所述上覆层中;导电插塞,横向相邻于所述井区且延伸穿过所述上覆层而与所述第一区电接触;以及钝化层,位于所述导电插塞与所述井区之间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 无掺杂连接结构及单元

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