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申请/专利权人：山东舜芯工研微电子有限公司
申请日：2023-10-07
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221198757U
主分类号：G01L13/00
分类号：G01L13/00;G01L19/14;G01L19/00;H02G3/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本发明公开了一种基于MEMS技术的差压传感器，包括防护外壳体和安装在防护外壳体内部的传感器壳体，传感器壳体的下侧壁两端均开设有通孔，且通孔内插接有检测头，传感器壳体的内部装配有基板；传感器壳体的内部位于基板的上端装配有数字绝压传感器a，传感器壳体的内部位于基板的下端装癖有数字绝压传感器b；基板的上表面均匀装配有线路连接整理机构，传感器壳体的内壁左右两侧均匀装配有线路边角整理机构；防护外壳体的下端开设有封闭槽，封闭槽的底端开设有插口，传感器壳体插接在插口内；该基于MEMS技术的差压传感器，在传感器壳体的内壁设置线路边角整理机构，从而便于内部线路的整洁。
主权项：1.一种基于MEMS技术的差压传感器，包括防护外壳体2和安装在防护外壳体2内部的传感器壳体1，其特征在于：所述传感器壳体1的下侧壁两端均开设有通孔7，且通孔7内插接有检测头6，所述传感器壳体1的内部装配有基板20；所述传感器壳体1的内部位于基板20的上端装配有数字绝压传感器a3，所述传感器壳体1的内部位于基板20的下端装癖有数字绝压传感器b4；所述基板20的上表面均匀装配有线路连接整理机构8，所述传感器壳体1的内壁左右两侧均匀装配有线路边角整理机构5；所述防护外壳体2的下端开设有封闭槽12，所述封闭槽12的底端开设有插口13，所述传感器壳体1插接在插口13内；所述传感器壳体1的两侧内壁均安装有U型滑框10，所述基板20的两侧壁均安装有滑块9，所述滑块9安装在U型滑框10内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东舜芯工研微电子有限公司 一种基于MEMS技术的差压传感器
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