申请/专利权人:江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司
申请日:2023-12-12
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN221197005U
主分类号:F17C9/02
分类号:F17C9/02;C23C16/448;F17C13/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权
摘要:本实用新型揭示了一种固态源气化装置及系统,所述固态源气化装置包括瓶体、封装于瓶体上的盖板及位于瓶体内的若干托盘,所述托盘包括底壁及围设于所述底壁外周的侧壁,至少部分侧壁与瓶体内壁的形状相匹配,所述瓶体内设有抵接于托盘侧壁与瓶体内壁之间的位置调节结构,所述位置调节结构用于对托盘侧壁施加朝向托盘中心的压力,以使托盘上远离位置调节结构的部分侧壁与瓶体内壁相抵接。本实用新型可以将托盘的部分侧壁与瓶体内壁相抵接,从而提高托盘和瓶体的热传导效率,进而提高了固态源蒸气的输出效率。
主权项:1.一种固态源气化装置,所述固态源气化装置包括瓶体、封装于瓶体上的盖板及位于瓶体内的若干托盘,其特征在于,所述托盘包括底壁及围设于所述底壁外周的侧壁,至少部分侧壁与瓶体内壁的形状相匹配,所述瓶体内设有抵接于托盘侧壁与瓶体内壁之间的位置调节结构,所述位置调节结构用于对托盘侧壁施加朝向托盘中心的压力,以使托盘上远离位置调节结构的部分侧壁与瓶体内壁相抵接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司 固态源气化装置及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。