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申请/专利权人：科磊股份有限公司
申请日：2023-05-31
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118251746A
主分类号：H01J37/073
分类号：H01J37/073;H01J37/04;H01J37/28
优先权：["20220601 US 17/830,244"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：一种电子束装置包含激光器及光电阴极薄膜。所述光电阴极薄膜具有正面及背面，且在使用所述激光器从所述背面照明时发射多个电子小射束。所述电子束装置还包含电极，所述电极用以从所述光电阴极薄膜的所述正面提取所述多个电子小射束及用以控制所述多个电子小射束的形状。
主权项：1.一种电子束装置，其包括：激光器；光电阴极薄膜，其具有正面及背面，以在使用所述激光器从所述背面照明时发射多个电子小射束；及电极，其用以从所述光电阴极薄膜的所述正面提取所述多个电子小射束及用以控制所述多个电子小射束的形状。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 通过光电阴极薄膜产生多个电子束
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