龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：上海集成电路制造创新中心有限公司
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118244460A
主分类号：G02B13/18
分类号：G02B13/18;G01B11/00;G01J3/02;G01J3/44
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明公开了一种物镜系统，包括物镜，所述物镜由两片非球面镜片构成，从物平面发出的光依次经过两片所述非球面镜片，汇聚于焦平面；其中，通过调整所述焦平面的位置，实现在一定的探测光波长范围内工作。本发明通过调整焦平面位置，可消除不同波长的光引起的色差，实现对光学测量性能的提升，以及实现在一定波长范围内的连续工作，从而实现传统的多波长、宽光谱的光学关键尺寸测量，并有利于大规模制造。
主权项：1.一种物镜系统，其特征在于，包括物镜，所述物镜由两片非球面镜片构成，从物平面发出的光依次经过两片所述非球面镜片，汇聚于焦平面；其中，通过调整所述焦平面的位置，实现在一定的探测光波长范围内工作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路制造创新中心有限公司 一种物镜系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号