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申请/专利权人：华中科技大学
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118258791A
主分类号：G01N21/49
分类号：G01N21/49;G01N21/01;G01N21/88;G01N21/956
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本申请公开了一种多波长多偏振的角分辨散射检测装置及其图像处理方法，属于光学测量技术领域。本申请中，分光单元将入射的激光分为多路子入射光；各滤波单元选择不同的通过波长对各路子入射光进行滤波，偏振单元改变滤波后入射光的偏振态；随后耦合单元将各路子入射光耦合为一路入射光后投射至可旋转样品台上的样品；散射光收集单元分别针对不同通过波长，采集不同方位角和散射角的散射光光强图像；数据处理单元对不同方位角和散射角的光强图像进行拼接融合，输出与样品亚表层损伤相关的散射光强矩阵分布图。利用本申请可选择多种检测波长和偏振态进行角分辨散射缺陷检测，提供更加全面的散射谱信息，扩大了检测装置的应用范围和检测精度。
主权项：1.一种多波长多偏振的角分辨散射检测装置，其特征在于，包括分光单元、多个滤波单元、耦合单元、散射光收集单元和数据处理单元；所述分光单元将入射的激光分为多路子入射光；各所述滤波单元选择不同的通过波长对各路子入射光进行滤波；随后所述耦合单元将各路子入射光耦合为一路入射光后投射至样品；所述散射光收集单元分别针对不同通过波长，采集不同方位角和散射角的散射光光强图像；所述数据处理单元对不同方位角和散射角的光强图像进行拼接融合，输出与样品亚表层损伤相关的散射光强矩阵分布图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 多波长多偏振的角分辨散射检测装置及其图像处理方法
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