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一种半导体刻蚀图形的形成系统及方法 

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申请/专利权人:杭州泽达半导体有限公司

摘要:本发明公开了一种半导体刻蚀图形的形成系统及方法,涉及到刻蚀图形形成系统技术领域,其半导体刻蚀图形的形成系统包括工作台,所述工作台的顶部固定安装有支架,支架的底部固定安装有等间距排列的多个喷头,工作台的顶部固定安装有安装板,安装板的前侧滑动连接有等间距排列的多个贴合杆,外壳的底部固定安装有外壳,外壳的内侧设有滤网,滤网的右侧固定安装有安装架,本发明通过将半导体元器件放置在两个贴合杆之间,再调节两个贴合杆之间的间距,就可对元器件进行固定,方便对元器件喷涂蚀刻液,并且洒落的蚀刻液还会掉落到外壳的内侧被收集,同时被滤网过滤,避免杂质与蚀刻液混合,方便回收利用蚀刻液。

主权项:1.一种半导体刻蚀图形的形成系统,包括工作台1,其特征在于,所述工作台1的顶部固定安装有支架2,支架2的底部固定安装有等间距排列的多个喷头3,工作台1的顶部固定安装有安装板4,安装板4的前侧滑动连接有等间距排列的多个贴合杆5,外壳15的底部固定安装有外壳15,外壳15的内侧设有滤网16,滤网16的右侧固定安装有安装架17,安装架17与外壳15滑动接触,外壳15的右侧固定安装有对接板22,安装架17的右侧固定安装有把手18;贴合杆5的顶部分别设有定位机构和控制机构,定位机构分别与控制机构和安装板4相配合,安装架17的右侧设有固定机构,固定机构分别与把手18和对接板22相配合。

全文数据:

权利要求:

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