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申请/专利权人：度亘核芯光电技术(苏州)有限公司;度亘光电科技(南通)有限公司
申请日：2024-05-30
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248603A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本申请提供了一种贴膜设备及贴膜方法。本申请的贴膜设备包括联动的扩膜托盘与扩膜驱动模块，通过扩膜驱动模块驱动扩膜托盘沿Z轴方向上下运动可以实现两次扩膜，减少薄膜贴覆于铁环之后存在褶皱和气泡的问题。本申请的贴膜设备中薄膜及铁环在上，切刀在下，并且薄膜的粘面朝上，在实现薄膜切割时，采用背面自动切割，切割时产生的杂质及粉末向下掉落，不会附着在薄膜的粘面。本申请的贴膜方法用于实现对铁环表面的薄膜的贴附，该贴膜方法先两次扩膜，后在下面实现薄膜的光滑面切割。解决了现有技术中铁环贴膜后存在褶皱气泡等问题，减少返工，提高贴膜效率。
主权项：1.一种贴膜设备，用于铁环（101）表面的薄膜（12b）贴覆，其特征在于，包括：支撑部（10），包括平台（10b），所述平台（10b）具有沿Z轴方向贯穿的第一贯穿孔（10c）；薄膜滚轴（12a），设置于所述支撑部（10），所述薄膜滚轴（12a）用于辅助将所述薄膜（12b）平铺于所述平台（10b）的顶部；第一固定件（14），可转动地设置于所述支撑部（10），所述第一固定件（14）用于将所述薄膜（12b）固定于所述平台（10b）；第二固定件（15），可转动地设置于所述支撑部（10），所述第二固定件（15）的内表面用于设置所述铁环（101）；以及扩膜组件，包括扩膜托盘（20）、驱动所述扩膜托盘（20）升降的扩膜驱动模块（30），所述扩膜驱动模块（30）设置于所述平台（10b）的下方，所述扩膜驱动模块（30）驱动所述扩膜托盘（20）向上运动以穿过所述第一贯穿孔（10c）；其中，在所述薄膜（12b）固定于所述平台（10b）之后所述扩膜托盘（20）对所述薄膜（12b）施加第一次向上的作用力，并在所述铁环（101）压设于所述薄膜（12b）的上表面之后所述扩膜托盘（20）再对所述薄膜（12b）施加第二次向上的作用力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 度亘核芯光电技术(苏州)有限公司;度亘光电科技(南通)有限公司 贴膜方法及贴膜设备
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