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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2022-10-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118251747A
主分类号：H01J37/20
分类号：H01J37/20;H01J37/18;B25J15/00
优先权：["20211115 US 63/279,658"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：用于减少腔室的振动的系统、装置和方法可以包括：获得与被刚性耦合到腔室的传送设备相关联的预定义运动数据；在传送设备移动之前，基于预定义运动数据来确定传送设备的移动；基于移动来确定由移动引起的要被施加到腔室的第一力；并且使腔室的支撑设备在传送设备移动时向腔室施加第二力以抵消第一力。
主权项：1.一种装置，包括：腔室；传送设备，被刚性耦合到所述腔室；以及支撑设备，被配置为支撑所述腔室，所述支撑设备包括电路装置，所述电路装置被配置为：获得与所述传送设备相关联的预定义运动数据；在所述传送设备移动之前，基于所述预定义运动数据来确定所述传送设备的移动；基于所述移动来确定由所述移动引起的要被施加到所述腔室的第一力；并且当所述传送设备移动时，使所述支撑设备向所述腔室施加第二力以抵消所述第一力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 减少腔室振动的方法和系统
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