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控制留埚率的方法、系统及单晶硅棒的生产方法 

申请/专利权人:双良硅材料(包头)有限公司

申请日:2024-03-26

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118241303A

主分类号:C30B15/20

分类号:C30B15/20;C30B29/06

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明公开了一种控制留埚率的方法、系统及单晶硅棒的生产方法。本发明的控制留埚率的方法,包括以下步骤:1建立以留埚率为因变量,以单晶硅棒的头部电阻率数值为自变量的关系式;并将该关系式输入单晶炉台单元;2收集所拉制的前一根单晶硅棒的实际头部电阻率;3将前一根单晶硅棒的实际头部电阻率数值输入所述单晶炉台单元中的关系式,通过计算获得待拉制的当前根单晶硅棒所需的留埚率。本发明的控制留埚率的方法可以比较准确地调整留埚率,在满足单晶硅棒电阻率需求的基础上,可以提高单晶硅棒的长度,降低成本。

主权项:1.一种控制留埚率的方法,其特征在于,包括以下步骤:1建立以留埚率为因变量,以单晶硅棒的头部电阻率数值为自变量的关系式;并将该关系式输入单晶炉台单元;2收集所拉制的前一根单晶硅棒的实际头部电阻率;3将前一根单晶硅棒的实际头部电阻率数值输入所述单晶炉台单元中的关系式,通过计算获得待拉制的当前根单晶硅棒所需的留埚率。

全文数据:

权利要求:

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