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申请/专利权人：ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日：2023-12-25
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248509A
主分类号：H01J37/145
分类号：H01J37/145;H01J37/26;H01J37/28
优先权：["20221223 US 18/088,222"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：描述了一种用于带电粒子束装置的透镜，该透镜具有透镜部件。该透镜包括：第一磁透镜，具有上极片和中间极片；第二磁透镜，具有中间极片和下极片；第一线圈，布置在第一磁透镜内，并且用于在上极片与中间极片之间提供第一磁场；第二线圈，布置在第二磁透镜内，用于在中间极片与下极片之间提供第二磁场；以及静电透镜，具有上电极和下电极，其中由上极片限定的第一内直径和由中间极片限定的第二内直径中的至少一者大于下极片的第三内直径。
主权项：1.一种用于带电粒子束装置的透镜，所述透镜具有透镜部件，所述透镜部件包括：第一磁透镜，所述第一磁透镜具有上极片和中间极片；第二磁透镜，所述第二磁透镜具有中间极片和下极片；第一线圈，所述第一线圈布置在所述第一磁透镜中并在所述上极片与所述中间极片之间提供第一磁场；第二线圈，所述第二线圈布置在所述第二磁透镜中并在所述中间极片与所述下极片之间提供第二磁场；以及静电透镜，所述静电透镜具有上电极和下电极，其中由所述上极片限定的第一内直径和由所述中间极片限定的第二内直径中的至少一者大于所述下极片的第三内直径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ICT半导体集成电路测试有限公司 用于带电粒子束装置的透镜、带电粒子束装置以及聚焦带电粒子束的方法
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