申请/专利权人：清华大学

申请日：2021-11-03

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN114112788B

主分类号：G01N7/14

分类号：G01N7/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开

摘要：一种材料真空放气率的测试方法及装置，包括：用真空泵对真空腔室抽真空，记录第一真空度变化曲线；将真空腔室内充入填充气体，再对真空腔室抽真空，记录第二真空度变化曲线；比较第一、第二真空度变化曲线，如不重合度超过阈值，则重复获得第二真空度变化曲线，直至前后两次第二真空度变化曲线的不重合度小于阈值；将被测材料放入真空腔室，关闭真空腔室并停止充入填充气体；再次用真空泵对真空腔室进行抽真空，记录第三真空度变化曲线；通过最后一次第二真空度变化曲线、第三真空度变化曲线，真空泵极限真空、真空泵有效抽速和真空腔室本底气载，计算被测材料放气率。本发明不需要知道真空腔体的材料、漏率等信息，即可获得被测材料的放气率。

主权项：1.一种材料真空放气率的测试方法，其特征在于，包括：用真空泵对真空腔室抽真空，测量记录真空度随时间变化的第一真空度变化曲线；将真空腔室内充入填充气体至大气压，再次用真空泵对真空腔室进行抽真空，记录真空度随时间变化的第二真空度变化曲线，所述填充气体是高纯氮气；比较第一真空度变化曲线与第二真空度变化曲线，如果不重合度超过设定阈值，则重复对真空腔室充入填充气体并抽真空获得第二真空度变化曲线，直至前后两次的第二真空度变化曲线的不重合度小于设定阈值；在持续通入填充气体的情况下，将被测材料放入真空腔室，关闭真空腔室并停止充入填充气体；再次用真空泵对真空腔室进行抽真空，测量记录真空度随时间变化的第三真空度变化曲线；通过最后一次第二真空度变化曲线的数据结合真空泵的极限真空、真空泵的有效抽速获得真空腔室的本底气载Q0，通过第三真空度变化曲线的数据结合真空泵的极限真空、真空泵的有效抽速以及真空腔室的本底气载Q0，计算出被测材料的放气率，所述通过最后一次第二真空度变化曲线的数据结合真空泵的极限真空、真空泵的有效抽速获得真空腔室的本底气载Q0，包括： pj——最后一次获得第二真空度变化曲线时真空腔室所能达到的极限真空度；P0——真空泵的极限真空；Sp——真空泵的有效抽速，所述通过第三真空度变化曲线的数据结合真空泵的极限真空、真空泵的有效抽速以及真空腔室的本底气载Q0，计算出被测材料的放气率，包括： pj-M——获得第三真空度变化曲线测量时真空腔室所能达到的极限真空度；式中，qM——放气率；S——被测材料的表面积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 材料真空放气率的测试方法及装置

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