申请/专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

申请日：2022-02-21

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN114486204B

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02;G02B27/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2022.05.31#实质审查的生效;2022.05.13#公开

摘要：一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，涉及物镜波像差测量技术领域。该准直物镜调节机构包括测量传感器、准直物镜、准直物镜座、弹性结构和调节螺丝；所述准直物镜通过所述准直物镜座安装在所述测量传感器上；所述调节螺丝用于调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置；所述弹性结构用于拉紧所述准直物镜与所述测量传感器。该物镜测试系统包括准直物镜调节机构。本发明的目的在于提供一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的在小空间内准直物镜姿态调整较难的技术问题。

主权项：1.一种准直物镜调节机构，其特征在于，包括测量传感器2、准直物镜3、准直物镜座4、弹性结构5和调节螺丝6；所述准直物镜3通过所述准直物镜座4安装在所述测量传感器2上；所述调节螺丝6用于调节所述准直物镜3与所述测量传感器2之间的相对位置；所述弹性结构5用于拉紧所述准直物镜3与所述测量传感器2；所述准直物镜座4包括镜座盖板8和与所述镜座盖板8固定连接的镜座调节座9；所述镜座盖板8与所述准直物镜3固定连接，所述镜座调节座9与所述测量传感器2固定连接；所述调节螺丝6与所述镜座盖板8螺接，且所述调节螺丝6的底部穿过所述镜座盖板8并与所述镜座调节座9抵接，以通过旋转所述调节螺丝6来调节所述准直物镜3与所述测量传感器2之间的相对位置；所述弹性结构5为设置在所述镜座调节座9上的沟槽组904；所述沟槽组904包括沿所述镜座调节座9周向依次间隔设置的多个沟槽；所述沟槽组904位于座板连接部与座感连接部之间；所述座板连接部为所述镜座调节座9的与所述镜座盖板8的连接部分，所述座感连接部为所述镜座调节座9的与所述测量传感器2的连接部分；所述镜座调节座9包括依次固定连接的调节座上部910和调节座下部920；所述座板连接部和所述沟槽组904均设置在所述调节座上部910的侧壁，所述座感连接部设置在所述调节座下部920；所述镜座调节座9设置有贯穿所述调节座上部910和所述调节座下部920的调节座通孔930；所述调节座通孔930、所述调节座上部910和所述调节座下部920同光轴设置；所述调节座通孔930为阶梯孔，所述调节座上部910的底板的内底面具有与所述调节螺丝6的底部抵接的调节座内底支撑面906；所述调节座上部910的底板的外径大于所述调节座下部920的外径，所述调节座上部910的底板的外底面具有与所述测量传感器2的传感器定位端面201抵接的调节座外底配合面901。

全文数据：

权利要求：

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