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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
申请日：2023-12-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256892A
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44;H01L21/67;C23C16/448;C23C16/458;C23C16/52
优先权：["20221228 US 63/435,750"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：描述了用于调节处理室体积的方法和设备。例如，在移除用于执行与处理室相关的功能的至少一个部件之后，处理室可以安装有固定装置以调节处理室的体积。具有固定装置的处理室可以减少前体气体量和用于涂覆工件的处理时间。在涂覆之后，工件可被放置在另一处理室中，以执行与该另一处理室相关的功能。
主权项：1.一种方法，包括：从包括内壁和至少一个部件的处理室移除该至少一个部件，其中内壁限定第一体积；在处理室中安装固定装置，其中固定装置和至少一些内壁限定第二体积，其中第二体积小于第一体积；将工件插入具有第二体积的处理室中；使前体气体流过工件；基于流过工件的前体气体，将工件涂覆为涂覆工件；以及基于该涂覆，从具有第二体积的处理室移除涂覆工件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 处理室体积调节
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