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归一化光强的共焦差动测量有效区域的三维形貌还原方法 

申请/专利权人:华侨大学

申请日:2022-06-22

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN115031660B

主分类号:G01B11/24

分类号:G01B11/24

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.09#公开

摘要:本发明提供归一化光强的共焦差动测量有效区域的三维形貌还原方法,包括:采用相机拍摄焦面图像、焦前图像和焦后图像;对焦面图像的灰度值进行归一化处理,得到归一化图像;提取归一化图像与共聚焦轴向响应曲线对应的有效测量区域,得到有效测量模板,将有效测量模板分别与焦前图像、焦后图像进行掩膜提取,得到有效焦前图像、有效焦后图像;将有效焦前图像、有效焦后图像进行作差,利用差动共焦测量曲线,实现共聚焦差动测量有效测量区域三维还原;本发明方法将共聚焦成像轴向光强曲线和共聚焦差动曲线进行结合,有效的解决了视场中隶属于差动测量范围内的区域提取,实现了真实三维信息的还原。

主权项:1.归一化光强的共焦差动测量有效区域的三维形貌还原方法,其特征在于,包括:采用相机拍摄焦面图像P0x,y、焦前图像P1x,y和焦后图像P2x,y;对焦面图像P0x,y的灰度值进行归一化处理,得到归一化图像P0'x,y;提取归一化图像P0'x,y与共聚焦轴向响应曲线对应的有效测量区域,得到有效测量模板P0”x,y,具体为:在共聚焦图像中,轴向光强满足式:其中u为物方轴向离焦量,Iu为轴向光强值,根据归一化曲线判断焦面图像各像素点处于的离焦位置,提取出离焦距离小于等于焦前图像和焦后图像的离焦距离的区域,并转换为二值化的图像模板,即为有效测量模板P0”x,y;将有效测量模板P0”x,y分别与焦前图像P1x,y、焦后图像P2x,y进行掩膜提取,得到有效焦前图像P1'x,y、有效焦后图像P2'x,y;将有效焦前图像P1'x,y、有效焦后图像P2'x,y进行作差,利用差动共焦测量曲线,实现共聚焦差动测量有效测量区域三维还原;将有效焦前图像P1'x,y、有效焦后图像P2'x,y进行作差,利用差动共焦测量曲线,实现共聚焦差动测量有效测量区域三维还原,具体为:共焦差动测量原理:其中,uF为焦前图像、焦后图像离焦距离;通过对所得的有效焦前图像P1'x,y和有效焦后图像P2'x,y作差,利用共焦差动测量原理,实现共焦差动测量有效区域还原。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 华侨大学 归一化光强的共焦差动测量有效区域的三维形貌还原方法

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