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申请/专利权人：武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司
申请日：2020-10-28
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN112180685B
主分类号：G03F7/039
分类号：G03F7/039;G03F7/004;G03F7/32;G03F7/40
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开
摘要：本发明提供一种正型感光性树脂组合物和固化膜及固化膜的图像加工方法，本发明提供的一种正型感光性树脂组合物能够在曝光后通过碱性显影液显影，曝光敏感度良好，图案良好且分辨率高，固化膜的热膨胀系数良好；本发明提供的正型感光性树脂组合物包含：碱溶性树脂a100重量份、光产酸剂b10‑30重量份、热交联剂c20‑60重量份及有机溶剂d，碱溶性树脂a包含具有通式1结构的二胺和或结构式2的结构的四酸，碱溶性树脂a中还包含通式a5结构的二酐的二氰基甲叉衍生物，碱溶性树脂a为聚酰胺酸聚酰亚胺树脂或聚酰胺酸酯聚酰胺酸树脂。
主权项：1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包括：碱溶性树脂a100重量份、光产酸剂b10-30重量份、热交联剂c20-60重量份及有机溶剂d；所述碱溶性树脂a包含具有通式1结构的二胺和结构式2的结构的四酸或二酐； 其中，结构式1中R0表示2至4价有机基团，R1表示-COOH或-OH；所述碱溶性树脂a的主链包含通式a1和a2作为主要重复单元的聚合物通式3；通式a1、a2为： 通式3为： 其中，所述通式3中P和或Q表示包含通式1结构的二胺的反应残基，X包含结构式2结构的四酸的反应残基；Y表示二酐或结构式a5的二酐的二氰基甲叉衍生物的反应残基；其中，R13表示碳原子数从1-20的有机基团； 所述通式3中重复单元a1、a2中X和或Y有20-40mol％来源于结构式2，且20mol％≤X+Y≤40mol％来源于结构式2；所述通式3中重复单元a1、a2中P和或Q有10-20mol％来源于结构式1，且10mol％≤P+Q≤20mol％来源于结构式1；所述通式3中m和n为10-50000的整数；所述碱溶性树脂a的X，Y，P，Q至少有一种基团含有氟原子，所述氟原子占所述碱溶性树脂a的质量比例为5-25％，所述碱溶性树脂a的X，Y，P，Q至少有一种基团含有羟基、羧基、磺酸基中的一种或多种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 一种正型感光性树脂组合物、固化膜及固化膜图案加工方法
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