申请/专利权人：赛英特半导体技术(西安)有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN117420422B

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28;G01R1/28;G01R1/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2024.02.06#实质审查的生效;2024.01.19#公开

摘要：本公开提供了一种VI源的扩流方法、电路及VI源，涉及集成电路测试技术领域。该扩流电路包括：功率放大部分以及电流正反馈部分；其中，所述功率放大部分，用于将VI源的高电位施加线的输出电流进行放大，并通过扩流后的高电位施加线输出放大后的输出电流；所述电流正反馈部分，用于将放大后的输出电流按照设定的衰减比例进行衰减后，向所述功率放大部分提供正反馈电流，并使得所述VI源根据衰减后的电流以及衰减比例获知放大后的输出电流。不仅提高了VI源的输出功率，并且还同时能够保持VI源原有的电流以及电压的四象限加载和测量的功能。

主权项：1.一种VI源的扩流电路，其特征在于，所述VI源包括：控制部分、VI加载及测量部分以及外部端口,外部端口包括4个端口：高电位施加线HF、高电位检测线HS、低电位施加线LF以及低电位检测线LS；所述扩流电路提供的四个端口与负载板相连，四个端口为扩流后的高电位施加线HF’、扩流后的高电位检测线HS’、扩流后的低电位施加线LF’、扩流后的低电位检测线LS’；所述扩流电路包括：功率放大部分以及电流正反馈部分；其中，所述功率放大部分，用于将VI源的高电位施加线的输出电流进行放大，并通过扩流后的高电位施加线输出放大后的输出电流；所述电流正反馈部分，用于将放大后的输出电流按照设定的衰减比例进行衰减后，向所述功率放大部分提供正反馈电流，并使得所述VI源根据衰减后的电流以及衰减比例获知放大后的输出电流；其中，所述功率放大部分包括：功率放大器单元；其中，所述功率放大器单元的正输入端与所述VI源的高电位施加线相连，所述功率放大器单元的负输入端直接与所述功率放大器单元的输出端相连；相应地，所述电流正反馈部分包括第一反馈电阻和第二反馈电阻；其中，所述第一反馈电阻的一端连接所述功率放大器单元的输出端，所述第一反馈电阻的另一端为扩流后的高电位施加线；所述第二反馈电阻的一端与扩流后的高电位施加线相连，所述第二反馈电阻的另一端与所述功率放大器单元的正输入端相连，所述第二反馈电阻的阻值R6大于所述第一反馈电阻的阻值R5，并且所述衰减比例为；所述扩流电路还包括连接所述VI源的高电位检测线HS以及扩流后的高电位检测线HS’的电压反馈回路，用于将扩流后的高电位检测线HS’检测到的反馈电压返回至VI源的高电位检测线；所述电压反馈回路包括：电压反馈电阻R1以及稳压支路；其中，所述电压反馈电阻R1的两端分别连接在所述VI源的高电位检测线HS以及所述扩流后的高电位检测线HS’，所述稳压支路分别连接在所述VI源的高电位施加线HF和所述VI源的高电位检测线HS之间；所述电压反馈回路将所述扩流后的高电位检测线HS’检测到的反馈电压返回至所述VI源的高电位检测线HS，使得所述VI源在增加了扩流电路后，依然具备对反馈电压的采集能力；所述扩流后的低电位施加线LF’与所述VI源的低电位施加线LF相连，所述扩流后的低电位检测线LS’与VI源的低电位检测线LS相连。

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权利要求：

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