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申请/专利权人：三星显示有限公司
申请日：2020-01-09
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN111482700B
主分类号：B23K26/142
分类号：B23K26/142;B23K26/38;B08B5/04;B08B15/04
优先权：["20190128 KR 10-2019-0010445"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.01.11#实质审查的生效;2020.08.04#公开
摘要：面板加工装置包括：台，布置有具有由第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向而定义的平面的母面板；激光单元，布置于所述台上；以及吸入装置，布置于所述台上，并且相邻于所述激光单元，其中，所述吸入装置包括：第一吸入部，限定有沿第一方向开口的第一开口部；以及第二吸入部，限定有沿与所述第一方向相反的方向开口并沿所述第二方向与所述第一开口部隔开的第二开口部，在所述第一吸入部以及第二吸入部的下部分别限定有沿所述第一方向延伸的第一吸入孔以及第二吸入孔。
主权项：1.一种面板加工装置，包括：台，布置有具有由第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向定义的平面的母面板；激光单元，布置于所述台上；以及吸入装置，布置于所述台上，并且相邻于所述激光单元，其中，所述吸入装置包括：第一吸入部，限定有沿所述第一方向开口的第一开口部；以及第二吸入部，限定有沿与所述第一方向相反的方向开口并沿所述第二方向与所述第一开口部隔开的第二开口部，其中，在所述第一吸入部以及第二吸入部的下部分别限定有沿所述第一方向延伸的第一吸入孔以及第二吸入孔，从所述母面板产生的污染粒子通过所述第一吸入孔以及所述第二吸入孔被吸入至所述第一吸入部以及所述第二吸入部，在所述第一吸入部以及所述第二吸入部中的每个，限定有从所述第一开口部以及所述第二开口部分别延伸的第一排气通道和第二排气通道，并且，当在所述第一吸入部以及所述第二吸入部产生吸入力时，形成于所述第一排气通道和所述第二排气通道的第一流量分别比形成于所述第一吸入孔和所述第二吸入孔的第二流量大。
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