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申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
摘要：本发明提供了一种硅片处理设备，硅片处理设备包括：硅片加工组件，硅片加工组件上设置有输入端和输出端，输入端适于接收载板，输出端适于输出载板；载板传送组件，载板传送组件包括：导轨，导轨的两端分别与输入端和输出端相连接；传输装置，设置于导轨上，传输装置能够沿导轨运动，传输装置上设置有腔体；其中，输出端输出的载板存入腔体后，经传输装置将载板输送至输入端。通过设置由导轨和传输装置组成的载板传送组件，取缔了皮带输送机，一方面精简了硅片处理设备的结构，缩减载板传送组件所占空间。通过在传送装置上设置腔体，可以从密封结构上进一步精简硅片处理设备的结构。
主权项：1.一种硅片处理设备，其特征在于，包括：硅片加工组件，所述硅片加工组件上设置有输入端和输出端，所述输入端适于接收载板，所述输出端适于输出所述载板；载板传送组件，所述载板传送组件包括：导轨，所述导轨的两端分别与所述输入端和所述输出端相连接；传输装置，设置于所述导轨上，所述传输装置能够沿所述导轨运动，所述传输装置上设置有腔体；其中，所述输出端输出的所述载板存入所述腔体后，经所述传输装置将所述载板输送至所述输入端；所述传输装置包括：第一基板，所述第一基板与所述导轨相连接，所述第一基板能够沿所述导轨运动；罩体，扣合于所述第一基板上，所述罩体与所述第一基板相连接，所述罩体上设置有载板入口和载板出口；第一门体，与所述罩体相连接，所述第一门体能够开启或关闭所述载板入口；第二门体，与所述罩体相连接，所述第二门体能够开启或关闭所述载板出口；所述第一门体和所述第二门体与所述罩体可移动相连接，所述罩体或所述第一基板上设置有驱动气缸，所述驱动气缸的运动端与所述第一门体或所述第二门体相连接。
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