申请/专利权人：泊肃叶科技(沈阳)有限公司

申请日：2021-03-31

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN112795895B

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56;C23C14/24;C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2024.04.26#专利申请权的转移;2021.06.01#实质审查的生效;2021.05.14#公开

摘要：本发明公开一种用于卷绕真空镀膜机的真空穿膜机构，应用于新能源动力电池制造的卷绕式真空镀膜机。真空穿膜机构主要包括穿膜杆、滑槽、滑动端、驱动端；穿膜杆上设置有膜槽，用来夹紧需要穿膜的柔性基膜端部；滑槽为2组，分别布置在卷绕式真空镀膜机的真空室与主辊轴线垂直的两个室壁内侧，滑槽的路径与柔性基膜在卷绕式真空镀膜机中卷绕走膜的路径一致；滑动端为2个，分别设置在穿膜杆的两端，滑动端上设置有轴承，轴承置于滑槽内，滑动端可通过轴承在滑槽中滑动；驱动端置于真空室外，可非接触式地驱动滑动端带动穿膜杆沿真空室内的滑槽路径移动。

主权项：1.一种用于卷绕式真空镀膜机的真空穿膜机构，主要包括穿膜杆、滑槽、滑动端、驱动端；穿膜杆上设置有膜槽，用来夹紧需要穿膜的柔性基膜端部；滑槽为2组，分别布置在卷绕式真空镀膜机的真空室与主辊轴线垂直的两个室壁内侧，滑槽的路径与柔性基膜在卷绕式真空镀膜机中卷绕走膜的路径一致；滑动端为2个，分别设置在穿膜杆的两端，滑动端上设置有轴承，轴承置于滑槽内，滑动端可通过轴承在滑槽中滑动；驱动端置于真空室外，可非接触式地驱动滑动端带动穿膜杆沿真空室内的滑槽路径移动；驱动端包括驱动滑块和驱动机构；驱动滑块设置在真空室的室壁外侧的外部滑槽内，外部滑槽的路径与位于真空室内的滑槽相对应，驱动滑块可在外部滑槽中移动；驱动滑块上设置有电磁吸引装置，当电磁吸引装置启动时，驱动滑块可吸引带动滑动端，驱动穿膜杆沿真空室内的滑槽路径移动；所述的卷绕式真空镀膜机主要包括放卷室、真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室、收卷室、卷绕系统、真空系统；放卷室、真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室和收卷室是由室间隔板在卷绕式真空镀膜机的真空室中分隔而成；磁控溅射镀膜室竖直立式排布，位于卷绕式真空镀膜机的中部；真空蒸发镀膜室有2-10个，呈层叠分两列排布于磁控溅射镀膜室的两侧；卷绕系统引导基膜走膜依次经过一侧的真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室和另一侧的真空蒸发镀膜室，分别进行蒸发镀膜和磁控溅射镀膜，结合卷绕系统各辊的布置实现在基膜的两面分别镀制多层膜层；真空穿膜机构用于在卷绕式真空镀膜机中真空穿膜，所述的真空穿膜为在真空环境下使柔性基膜在卷绕系统中穿膜。

全文数据：

权利要求：

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