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一种MEMS微同轴功分器 

申请/专利权人:赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司

申请日:2022-05-23

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN114976556B

主分类号:H01P5/16

分类号:H01P5/16;H01P1/213

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权;2022.09.16#实质审查的生效;2022.08.30#公开

摘要:本发明公开了一种MEMS微同轴功分器,涉及微波集成电路技术领域,MEMS微同轴功分器包括:内导体,内导体包括用于调节阻抗的第一中间端和第二中间端;共墙外壳,共墙外壳内开设有空腔,空腔两侧与外界连通,空腔中部设置有隔板,隔板将空腔分隔为第一共墙通道和第二共墙通道,第一中间端设置于第一共墙通道内,第二中间端设置于第二共墙通道内,第一中间端的一端与第二中间端的一端分别设置于第一共墙通道和第二共墙通道的输入口,并相互连接,以用于接收输入信号。本申请解决了传统功分器损耗大、不易集成的技术问题。

主权项:1.一种MEMS微同轴功分器,其特征在于,所述MEMS微同轴功分器包括:内导体,所述内导体包括用于调节阻抗的第一中间端和第二中间端;共墙外壳,所述共墙外壳内开设有空腔,所述空腔两侧与外界连通,所述空腔中部设置有隔板,所述隔板将所述空腔分隔为第一共墙通道和第二共墙通道,所述第一中间端设置于所述第一共墙通道内,所述第二中间端设置于所述第二共墙通道内,所述第一中间端的一端与所述第二中间端的一端分别设置于所述第一共墙通道和所述第二共墙通道的输入口,并相互连接,以用于接收输入信号;所述MEMS微同轴功分器还包括隔离电阻,所述隔离电阻的一端连接所述第一中间端的另一端,所述隔离电阻的另一端连接所述第二中间端的另一端,以用于隔离所述第一中间端和所述第二中间端的输出信号,防止所述第一中间端和所述第二中间端的输出相互产生影响;所述MEMS微同轴功分器还包括第一输出通道和第二输出通道,所述第一输出通道与所述第一共墙通道的输出口连通,所述第二输出通道与所述第二共墙通道的输出口连通;所述MEMS微同轴功分器还包括电阻通道,所述隔离电阻设置于所述电阻通道内,所述电阻通道分别连通所述第一共墙通道的输出口、所述第二共墙通道的输出口、所述第一输出通道和所述第二输出通道。

全文数据:

权利要求:

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