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申请/专利权人：康宁股份有限公司
申请日：2020-02-25
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN113508190B
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;H10N60/01;H01B13/00;C23C16/54;C23C16/48;C23C16/40;C23C16/02
优先权：["20190225 US 62/809,986"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.10.25#著录事项变更;2022.03.01#实质审查的生效;2021.10.15#公开
摘要：一种形成千米级长度的高温超导体带的方法，其通过下述进行：将带纹理的带从卷到卷馈送通过反应器腔室；使高温超导体前体从定位在腔室中的长前体喷淋头流动，前体喷淋头沿带的方向伸长；使气体从前体喷淋头的任一侧上的第一和第二长气帘喷淋头流动；以及用来自反应器相对侧上的照明源照亮带的上表面，照明源定位成允许照明通过相应的一个气帘喷淋头下方和前体喷淋头下方，而到达带的上表面。
主权项：1.一种多喷淋头化学气相沉积反应器，其包括：反应器腔室，所述反应器腔室由腔室壁包围，所述腔室具有长度和宽度，所述长度大于所述宽度，所述腔室壁在长度方向上的腔室的相对端处具有入口密封端口和出口密封端口，以用于在带上进行沉积期间，接收和输送所述带；在所述腔室内的支撑板，所述支撑板用于支撑所述带，所述支撑板具有长度和宽度，所述长度大于所述宽度；位于腔室内的前体喷淋头，所述前体喷淋头具有长度和宽度，所述长度大于所述宽度，前体喷淋头位于支撑板上方，并且前体喷淋头的长度尺寸与支撑板的长度尺寸平行；位于前体喷淋头的任一侧上的第一和第二气帘喷淋头，所述第一和第二气帘喷淋头各自具有长度和宽度，所述长度比所述宽度长，气帘喷淋头的长度尺寸平行于前体喷淋头的长度尺寸对准；位于腔室宽度的第一侧上的一个或多个第一照明源以及位于腔室宽度的第二侧上的一个或多个第二照明源，所述第一照明源和第二照明源经过定位和对准，以能够在沉积期间照亮所述带的上表面，这通过在相应的气帘喷淋头下方和前体喷淋头下方将照明光束照射至所述上表面来进行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 康宁股份有限公司 多喷淋头化学气相沉积的反应器、方法及产品
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