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申请/专利权人：浙江载力科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种具有吸附传递结构的晶圆输送检查平台，包括安装板、第二连接板和固定架，所述安装板的上表面固定连接有固定导轨，且固定导轨的表面安装有第一连接板，所述固定导轨的后表面固定连接有第一电机。该具有吸附传递结构的晶圆输送检查平台，设置有第一齿带与调节齿轮，使本装置在工作时，通过第一齿轮和第二齿轮的同步转动，从而带动第一齿带运动，使得固定在第一齿带表面的第一连接板进行滑动，通过固定导轨提高滑动的稳定性，并且在需要调节高度时，通过调节齿轮带动转动啮合第二连接板表面的齿块，从而带动第二连接板在第一连接板表面滑动，提高本装置工作时的范围，有利于增加稳定性减少原料损伤。
主权项：1.一种具有吸附传递结构的晶圆输送检查平台，包括安装板1、第二连接板8和固定架14，其特征在于：所述安装板1的上表面固定连接有固定导轨2，且固定导轨2的表面安装有第一连接板3，所述固定导轨2的后表面固定连接有第一电机4，且固定导轨2的下端连接有第一齿轮5和第二齿轮6，所述第一齿轮5和第二齿轮6表面安装有第一齿带7，所述第一连接板3的侧表面安装有第二连接板8，且第二连接板8的上端固定连接有固定箱9，所述第二连接板8的侧面固定连接有第二电机10，所述固定箱9的上表面连接有第三齿轮11和第四齿轮12，且第三齿轮11和第四齿轮12的外表面之间安装有第二齿带13，所述固定箱9一端的下表面设置有固定架14，所述固定架14的表面连接有转运臂15，所述第一连接板3的外表面固定连接有第三电机16，且第一连接板3朝向第二连接板8的表面连接有调节齿轮17。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江载力科技有限公司 一种具有吸附传递结构的晶圆输送检查平台
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