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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
申请日：2022-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118258592A
主分类号：G01M13/00
分类号：G01M13/00;G01D21/02;G01N33/18
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明涉及一种超纯水管道性能测试装置及其测试方法，包括超纯水供应系统、待验证循环管路、数据分析系统，所述待验证循环管路包括待验证管道，所述超纯水供应系统的作用为将超纯水注入待验证循环管路中，所述超纯水被配置为在待验证循环管路中循环通过待验证管道，并满足预定测试条件。所述数据分析系统用于对在待验证循环管路中满足预定测试条件的超纯水的水质数据进行采集。本发明的超纯水管道性能测试装置，超纯水可以在待验证循环管路中静置预定时间以进行超纯水静态测试，也可以在待验证循环管路中循环流动预定时间，以进行超纯水动态测试，弥补了现在测试标准的空白。
主权项：1.一种超纯水管道性能测试装置，其特征在于，包括：超纯水供应系统；待验证循环管路，所述待验证循环管路包括待验证管道，所述超纯水供应系统的作用为将超纯水注入待验证循环管路中，所述超纯水被配置为在待验证循环管路中循环通过待验证管道，并满足预定测试条件；数据分析系统，所述数据分析系统用于对在待验证循环管路中满足预定测试条件的超纯水的水质数据进行采集。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种超纯水管道性能测试装置及其测试方法
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