申请/专利权人：夏秋月

申请日：2021-05-21

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN113363183B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/683;H01L21/306;B08B3/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2021.09.24#实质审查的生效;2021.09.07#公开

摘要：本发明公开了一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置，属于湿法刻蚀用装置领域，一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置，本方案中，在磁性刻蚀件进行刻蚀的过程中，当磁性刻蚀件从刻蚀液中取出后，迅速对磁性刻蚀件表面的刻蚀液进行清洗，避免磁性刻蚀件表面存在的刻蚀液对磁性刻蚀件上已经形成的蚀痕进行侧蚀，不易造成加工废品，在加工过程中，利用磁性刻蚀件与连接柱轴心不共线的特点，在磁性刻蚀件自身重力作用下，使得磁性刻蚀件发生局部侧覆，使得磁性刻蚀件表面的刻蚀液及时滑落，可以实现大幅增加刻蚀的自动化加工程度，使得湿法刻蚀的时长严格安装预定的标准进行，增加湿法刻蚀的成功率，增加湿法刻蚀的加工效率。

主权项：1.一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置，包括湿法刻蚀池（1）和多个加工用机械臂，其特征在于：所述湿法刻蚀池（1）的槽底板上开凿有多个定位槽（2），多个所述定位槽（2）内均放置有与自身相匹配的磁性刻蚀件（3），所述湿法刻蚀池（1）内装填有刻蚀液，且刻蚀液的液面位于加工用机械臂之下，所述加工用机械臂包括连接柱（4），所述连接柱（4）与磁性刻蚀件（3）的轴心平行，所述连接柱（4）靠近湿法刻蚀池（1）的一端开凿有安装槽（5），所述安装槽（5）内转动连接有平衡臂（6），所述平衡臂（6）的下端固定连接有电磁铁柱（7），所述电磁铁柱（7）远离平衡臂（6）的一端连接有与自身相匹配的缓冲垫（8），所述缓冲垫（8）包括弹性胶垫（801），所述弹性胶垫（801）的侧壁上开凿有多个贯穿裂纹（802），多个所述贯穿裂纹（802）均贯穿弹性胶垫（801）侧壁，连通弹性胶垫（801）内腔与外界，所述弹性胶垫（801）内填充有多个蓄水球（10），所述蓄水球（10）包括蓄水部（1001），所述蓄水部（1001）为多孔隙储水材料，且蓄水部（1001）内储蓄有液态水，所述蓄水部（1001）的外侧固定连接有保护纤维簇（1002），所述保护纤维簇（1002）包括多个弹性纤维（11）；所述磁性刻蚀件（3）和连接柱（4）之间的轴心的差距不小于磁性刻蚀件（3）直径的六分之一；所述的一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置的使用方法，包括以下步骤：首先，加工用机械臂会利用电磁铁柱（7）将没有经过加工的磁性刻蚀件（3）吸附，并运送到湿法刻蚀池（1）的上侧，放入指定的定位槽（2）内，只有断开电磁铁柱（7）的电流，使得磁性刻蚀件（3）与电磁铁柱（7）分离，加工用机械臂移动到磁性刻蚀件（3）的上侧，并进行水平平移，使得磁性刻蚀件（3）与加工用机械臂内的连接柱（4）轴心平行且不重合，之后进入计时，开始对磁性刻蚀件（3）的蚀刻，在经过预设的蚀刻时间后，电磁铁柱（7）重新充电间磁性刻蚀件（3）从湿法刻蚀池（1）和蚀刻液中取出，并吸附在加工用机械臂上，有与磁性刻蚀件（3）与电磁铁柱（7）之间的吸附作用，会将蓄水部（1001）内的存储的水分挤压出来，并通过贯穿裂纹（802）渗出，对磁性刻蚀件（3）表面进行清洗，有与磁性刻蚀件（3）与连接柱（4）之间轴心并不重合，即平衡臂（6）形成的天秤结构两端的受力并不平衡，使得磁性刻蚀件（3）整体倾斜，磁性刻蚀件（3）表面存在的刻蚀液和渗出的水会从磁性刻蚀件（3）的表面滑落，之后，加工用机械臂在将磁性刻蚀件（3）调运至下料区，断开电磁铁柱（7）的通电，将磁性刻蚀件（3）和电磁铁柱（7）分离，重新开始上料和刻蚀工作的循环中，而下料区的磁性刻蚀件（3）还需要进行精加工后，才能形成合格的加工成品。

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权利要求：

百度查询： 夏秋月 一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置

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