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申请/专利权人：南京光途科技有限公司
申请日：2021-12-30
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN114396887B
主分类号：G01B11/24
分类号：G01B11/24
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2022.05.13#实质审查的生效;2022.04.26#公开
摘要：本发明公开了一种动态干涉仪，该干涉仪包括两个干涉通道，分别为零位通道和圆载频通道，其中零位通道采用在焦光源的斐索干涉光路产生共光路干涉条纹，圆载频通道采用离焦光源产生同一斐索腔的圆载频干涉条纹，辅助零位通道条纹进行解相；本发明还公开利用上述动态干涉仪进行测量的方法，首先调整离焦光源的位置，使圆载频通道产生能够用于辅助零位通道进行相位处理的干涉条纹，同步采集零位通道和圆载频通道产生的干涉条纹，并对其进行相位解算和符号校正。本发明的动态干涉仪能够有效抑制振动的影响，获得的测量结果准确可靠，且结构简单，成本低。
主权项：1.一种动态干涉仪，包括第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜、成像镜和第二偏振分束器，其特征在于，所述干涉仪有两个干涉通道，分别为零位通道和圆载频通道，所述零位通道包括第一光源、第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜、成像镜、第二偏振分束器和第一面阵探测器，所述第一光源设置在准直镜的焦点处，所述第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜沿第一光源的光路依次设置，所述成像镜、第二偏振分束器和第一面阵探测器沿非偏振分束器的反射光路依次设置；所述圆载频通道包括第二光源、第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜、成像镜、第二偏振分束器和第二面阵探测器，所述第二光源的光轴垂直于第一光源的光轴且偏离准直镜的焦点，所述第二面阵探测器沿第二偏振分束器的反射光路设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京光途科技有限公司 一种动态干涉仪及测量方法
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