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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日：2024-06-11
公开（公告）日：2024-07-09
公开（公告）号：CN118311400A
主分类号：G01R31/26
分类号：G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.26#实质审查的生效;2024.07.09#公开
摘要：本申请涉及一种可调节测试装置。可调节测试装置用于检测待检测样品，可调节测试装置包括：基座、传感组件以及调节机构，传感组件包括沿第一方向间隔设置的第一传感器及第二传感器，第一传感器及第二传感器配合，用于检测待检测样品的预设参数；调节机构沿第二方向可滑动连接基座，以调节传感组件与基座的相对位置；调节机构还用于调节第一传感器与第二传感器之间的距离，第一方向与第二方向相交。可调节测试装置中第一传感器与第二传感器之间的距离可调，使得可适应不同尺寸的晶圆并对晶圆进行感测。
主权项：1.一种可调节测试装置，其特征在于，所述可调节测试装置用于检测待检测样品，所述可调节测试装置包括：基座；以及传感组件，所述传感组件包括沿第一方向间隔设置的第一传感器及第二传感器，所述第一传感器及所述第二传感器配合，用于检测待检测样品的预设参数；以及调节机构，所述调节机构沿第二方向可滑动连接所述基座，以调节所述传感组件与所述基座的相对位置；所述调节机构还用于调节所述第一传感器与所述第二传感器之间的距离，所述第一方向与所述第二方向相交。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 可调节测试装置
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