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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
摘要：位移测量装置10具备：激光光源11，其向被测量物体S的表面的测定区域R照射激光；聚焦光学系统分束器151、第一反射镜1521以及聚光透镜155，其将测定区域R设为前方焦点，将规定的成像面检测面1561设为后方焦点；非聚焦光学系统分束器151、扩散器153、第二反射镜1522以及聚光透镜155，其使来自对于聚焦光学系统而言与所述成像面的各点对应的测定区域R的对应点的周边范围的光向所述成像面的该点入射；以及光检测器图像传感器156，其针对所述成像面上的每个点检测光的强度。由此，与测定区域R内的多个点中的各个点对应地，在该点反射的主反射光与在该点的周边范围反射的参照光向成像面内的多个点中的各个点入射，在成像面内的这些多个点处主反射光与参照光分别发生干涉，由此得到干涉图案。
主权项：1.一种位移测量装置，具备：激光光源，其向被测量物体的表面的测定区域照射激光；聚焦光学系统，其针对所述测定区域内的各测定点，将该测定点设为前方焦点，使所述激光在该测定点被反射所得到的光作为测定光入射到规定的成像面的作为后方焦点的检测点；非聚焦光学系统，其对于所述各测定点，使所述激光在该测定点的周边范围内被反射所得到的光作为参照光入射到所述检测点；以及光检测器，其针对每个所述检测点检测所述测定光与所述参照光的干涉光的强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社岛津制作所 位移测量装置和缺陷检测装置
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