申请/专利权人:无锡星微科技有限公司杭州分公司
申请日:2023-10-20
公开(公告)日:2024-07-09
公开(公告)号:CN117118269B
主分类号:H02N2/04
分类号:H02N2/04;H02N2/02;H02N2/06;H02N2/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.07.09#授权;2023.12.12#实质审查的生效;2023.11.24#公开
摘要:本发明公开了多维超精密微驱动器及控制系统,涉及精密仪器技术领域,多维超精密微驱动器包括减震基台,减震基台上设有两对向设置的气浮导轨,气浮导轨上对应设置有气浮台,相对气浮台之间连接有承重台,减震基台包括上下间隔相对设置的第一板体和第二板体,第一板体和第二板体中部之间设有支撑主体,支撑主体周向环绕设有多个支撑辅助件。本发明的目的在于提供一种精度高且减震效果好的多维超精密微驱动器及控制系统。
主权项:1.多维超精密微驱动器,包括减震基台(1),所述减震基台(1)上设有两对向设置的气浮导轨(21),所述气浮导轨(21)上对应设置有气浮台(22),相对所述气浮台(22)之间连接有承重台(23),其特征在于,所述减震基台(1)包括上下间隔相对设置的第一板体(11)和第二板体(12),所述第一板体(11)和第二板体(12)中部之间设有支撑主体(3),所述支撑主体(3)周向环绕设有多个支撑辅助件(4);所述支撑主体(3)包括支撑基柱(31),所述支撑基柱(31)底端设有支撑基座(32),所述支撑基柱(31)顶端周向延伸设有支撑沿(311),所述支撑基柱(31)顶面中部轴向延伸设有连接柱(312),所述连接柱(312)顶侧沿径向延伸设置设有多个第一架体(33),所述第一架体(33)远离连接柱(312)一端设有气浮件(34);所述支撑基座(32)与第二板体(12)固连,多个所述气浮件(34)与第一板体(11)底侧抵接,所述支撑沿(311)上设有与第一架体(33)对应设置的管制件(35),所述管制件(35)上设有气管(36),所述气管(36)与气浮件(34)连接。
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