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申请/专利权人：申玥蔻西摩半导体(湖州)有限公司
摘要：本发明涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种劈刀研磨装置，包括具有方槽的底座、滑动连接在所述底座上的滑座、多个贯穿所述滑座用于放置劈刀的通孔、设在所述方槽底部的研磨丝，还包括用于按压劈刀的按压组件、沿所述滑座移动方向对称设在劈刀两侧的防卡顿组件，本发明通过按压组件将劈刀推向研磨丝，保证劈刀C型槽能够紧贴在研磨丝上，并利用滑座在底座上移动来带动劈刀的C型槽在研磨丝上移动，从而实现对劈刀C型槽的快速研磨；通过设置防卡顿组件，可避免劈刀C型槽在研磨丝上移动的过程中发生卡顿，提高对劈刀C型槽的研磨精度。
主权项：1.一种劈刀研磨装置，包括具有方槽101的底座1、滑动连接在所述底座1上的滑座2、多个贯穿所述滑座2用于放置劈刀的通孔201、设在所述方槽101底部的研磨丝3，其特征在于：还包括用于按压劈刀的按压组件4、沿所述滑座2移动方向对称设在劈刀两侧的防卡顿组件5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 申玥蔻西摩半导体(湖州)有限公司 一种劈刀研磨装置
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