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半导体结构及其形成方法 

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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

摘要:本公开涉及一种半导体结构及其形成方法。所述半导体结构包括:衬底;多个导电结构,多个所述导电结构间隔设置于所述衬底上;多个隔离结构,所述隔离结构设置于相邻的所述导电结构之间;阻挡层,所述阻挡层设置于所述导电结构上;所述隔离结构高于所述阻挡层。本公开减少半导体结构内部的漏电问题,改善了半导体结构的性能。

主权项:1.一种半导体结构,其特征在于,包括:衬底;多个导电结构,多个所述导电结构间隔设置于所述衬底上;多个隔离结构,所述隔离结构设置于相邻的所述导电结构之间;阻挡层,所述阻挡层设置于所述导电结构上;所述隔离结构高于所述阻挡层。

全文数据:

权利要求:

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