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芯片结构及其制备方法 

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申请/专利权人:长电集成电路(绍兴)有限公司

摘要:本公开涉及一种芯片结构及其制备方法,芯片结构包括:芯片本体,包括第一面以及与第一面连接的外周表面;预封装层,至少包围芯片本体的外周表面;塑封层,覆盖第一面以及预封装层。通过先设置预封装层包围芯片结构,再后续制备塑封层时,预封装层减少了塑封层与芯片结构的接触面积,这减小了塑封层与芯片结构之间的应力。而且,在此过程中,预封装层几乎不会发生形变,这进一步消除了塑封层与芯片结构之间膨胀形变因素,降低了塑封层的翘曲角度。同时,加热时预封装层和塑封层的材料相近使得二者可以融合,进一步消除了芯片本体与塑封层之间产生的应力,最终使得芯片结构具有平坦的表面。此后,可以在平坦的表面上形成其他稳定的结构。

主权项:1.一种芯片结构,其特征在于,包括:芯片本体,包括第一面以及与所述第一面连接的外周表面;预封装层,至少包围所述芯片本体的外周表面;塑封层,覆盖所述第一面以及所述预封装层。

全文数据:

权利要求:

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